3BSC610042R1，3BSC610042R1
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壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí)，各電阻值將發(fā)生變化，電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。
用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片，硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來(lái)越受到人們的重視，尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用為普遍。
熱電阻傳感器分類：
1、NTC熱電阻傳感器：
該類傳感器為負(fù)溫度系數(shù)傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而減小。
2、PTC熱電阻傳感器：
該類傳感器為正溫度系數(shù)傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。
ASML Wafer Handler Pneumatics Module P/N:865-8150-001
ASML/SVG Pneumatic Manifold P/N: 865-0053-002
ASML/SVG Robitech Interface Board P/N:865-8275-003
ASML/SVG MS-2 Solid State Relay Board P/N:859-8276-001
ASML/SVG PC Board P/N: 851-8242-006
ASML/SVG Control Board P/N: 859-0954-005
ASML/SVG Oyster Terminals 05-13003-00 P/N:854-2336-001
ASML escap stepper motor P530.258.004.71 PN854-8328-003
ASML/SVG Controller 4022.470.0165
ASML 4022.470.5367 WH SHB SVG
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